上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 16005-25更新
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品牌：KRI起订量：1台上海·浦东新区
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上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列大,离子能量强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.
KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数
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型号 |
KDC 160 |
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供电 |
DC magnetic confinement |
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- 阴极灯丝 |
2 |
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- 阳极电压 |
0-100V DC |
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电子束 |
OptiBeam™ |
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- 栅极 |
专用, 自对准 |
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-栅极直径 |
16 cm |
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中和器 |
灯丝 |
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电源控制 |
KSC 1212 |
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配置 |
- |
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- 阴极中和器 |
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000 |
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- 安装 |
移动或快速法兰 |
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- 高度 |
9.92' |
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- 直径 |
9.1' |
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- 离子束 |
聚焦 |
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平行 |
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散设 |
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-加工材料 |
金属 |
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电介质 |
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半导体 |
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-工艺气体 |
惰性 |
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活性 |
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混合 |
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-安装距离 |
8-45” |
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- 自动控制 |
控制4种气体 |
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* 可选: 可调角度的支架 |
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KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE